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    一種用於氣體軸承心軸的氣體軸承總成。該總成包含一殼部以及配置於其中且彈性安裝於該殼部的一徑向內側軸承部。該徑向內側軸承部包含有一軸承面的一內殼軸承部，以及配置於該內殼軸承部與該殼部之間的一中間套筒部。裝設一液態冷卻劑通道於內殼軸承部與中間套筒部之間。該總成更包含一抗旋轉插塞，其係設置於殼部及內側軸承部兩者內以耦合該殼部與該內側軸承部而反抗相對旋轉。
    公开号:TW201321619A
    申请号:TW101126788
    申请日:2012-07-25
    公开日:2013-06-01
    发明作者:Neil Spicer；Chris Beesley
    申请人:Gsi Group Ltd；
    IPC主号:F16C32-00
    专利说明:
    氣體軸承心軸及用於氣體軸承心軸的氣體軸承總成
    本發明係有關於氣體軸承心軸及用於氣體軸承心軸的氣體軸承總成。
    特別值得注意的是氣體軸承心軸，其係適用於高速鑽孔應用，例如PCB(印刷電路板)鑽孔。在PCB鑽孔機器中，想要的機器是鑽孔直徑的範圍以及相應速度的範圍夠大。因此，例如，最好可提供有以下性能的機器，例如，在刻度的一端能以例如15,000至20,000 rpm的速度鑽出6.3毫米直徑的孔，以及在刻度的另一端能以例如200,000 rpm或300,000 rpm的速度鑽出例如0.1毫米至0.2毫米直徑的孔。此外，這種小孔需要以高度的準確性來鑽出，一般來說，提供印刷電路板的優質小孔是必要的。
    在以大多數的速度鑽孔(若不是全部的話)時，則裝置的徑向及/或軸向振動往往使鑽孔的品質變低。提供阻尼作用以阻尼此類振動顯然有助於減少此問題。
    此外，此阻尼作用使得軸桿可實現明顯更高的最大速度，藉由壓抑半速渦動(half speed whirl)在軸承氣膜(bearing gas film)內出現。(半速渦動為眾所周知的共振狀態，其係出現在超臨界氣體靜力式軸承系統(supercritical aerostatic bearings system)，它的出現常因氣膜的不穩定性質而導致心軸故障。這大約在軸承氣膜臨界速度的兩倍時發生)。
    用於提供阻尼作用的現有方法之一是安裝心軸的軸承至彈性體的O形環上。在此情況下，原則上，在設置限制內，允許軸承在O形環上隨著軸桿運動而徑向及軸向運動。因此，在鑽孔期間產生的振動能量可用O形環材料的變形吸收而對軸桿有良好的阻尼作用。不過，應用此技術於PCB心軸的缺點是需要以高速來鑽極小的孔，因此氣膜剪力會在軸承內部產生相當大量的熱。克服此問題的方法之一是提供冷卻，例如，水冷卻，以防過熱及控制氣膜間隙(air film gap)的熱膨脹。
    不過，這不是沒有困難，需要提供冷卻作用到正確的地方而且需要維持阻尼效果。
    本案申請人開發一種心軸以提供此機能中之至少一些，其中內側軸承部支撐於殼部的O形環以及該內側軸承部實質有一內部冷卻劑通道。這是藉助於有中間部及內殼軸承部的內側軸承部以及設於其間的冷卻劑通道。此一心軸圖示於第2圖而且在下文有更詳細的描述。
    不過，在有些情形下，用此設計會出問題是在極端負載或故障模式下，內側軸承部對於殼部可旋轉，接著這可能破壞冷卻劑進給路徑及/或氣體進給路徑的完整性而在軸承心軸中造成災難性故障。
    本發明的目標是要提供可防止心軸故障以及可提供冷卻作用的裝置同時不會去除心軸內的合意阻尼作用。
    根據本發明之一方面，提供一種用於氣體軸承心軸的氣體軸承總成，該總成包含一殼部以及配置於其中且彈性安裝於該殼部的一徑向內側軸承部，該徑向內側軸承部包含有一軸承面的一內殼軸承部以及配置於該內殼軸承部與該殼部之間的一中間套筒部，其中裝設一液態冷卻劑通道於該內殼軸承部與該中間套筒部之間。
    該總成更包含一抗旋轉插塞，其係容納在該殼部及該內側軸承部中以耦合該殼部與該內側軸承部而反抗相對旋轉，以及視需要有一彈性構件設在該插塞與該殼部及該內側軸承部中之至少一者之間使得該殼部與該內側軸承部藉由該插塞所形成的耦合有彈性。
    此一配置有助於防止軸承部件之間的不合意旋轉，而不損害殼部、徑向內側軸承部之彈性安裝(resilient mounting)的有效性。在至少一些情況下，在插塞、殼部/內側軸承部之間不裝設彈性構件下，可維持彈性安裝的有效性。
    設於插塞與殼部及內側軸承部中之至少一者之間的彈性構件可包含附在該插塞上的一O形環。
    該O形環可用作密封件。這將可防止軸承總成的氣體及/或冷卻劑洩露。
    該插塞可由殼部徑向延伸進入內側軸承部。該插塞可由殼部軸向延伸進入內側軸承部。
    在目前較佳的具體實施例中，該插塞為孔塞(blank plug)。替換地，該插塞可具有大體呈軸向的穿孔。該穿孔可為軸承總成中之流體進給路徑的一部份。該穿孔可形成用於進給冷卻劑至冷卻劑通道的冷卻劑供給路徑之一部份。該穿孔可形成用於進給氣體至軸承面的氣體供給路徑之一部份。
    一對彈性構件一方面可設在該插塞與該殼部之間，另一方面設在該插塞與該內側軸承部之間。該等彈性構件中之一個可設在該插塞與該殼部之間，以及另一個可設在該插塞與該內側軸承部之間。
    在此情況下，這兩個彈性構件可用作密封件以及提供耦合的彈性。不過，在有些情形下，彈性構件中之一個或每個可只提供該等功能中之一種。因此，例如，插塞、殼部之間可為剛性連接以及設於其間的彈性構件用作密封件，而設於插塞、內側軸承部之間的彈性構件提供耦合的彈性。
    在有一對用作密封件的彈性構件時，可將該對中之第一個裝設成可密封防止氣體洩露以及可將第二個裝設成可密封防止冷卻劑洩露。
    因此，一密封件可確保冷卻劑進給路徑的完整性不被插塞危害，以及另一密封件可確保氣體進給路徑的完整性不被插塞危害。
    可裝設一對直徑地對置(diametrically opposed)的抗旋轉插塞。
    該或每個插塞對於該軸承面可軸向居中地裝設。該或每個插塞可與冷卻劑通道軸向對齊。該或每個插塞對於該軸承面可軸向對稱地裝設。
    該或每個插塞可推入配合(push fit)於殼部及/或內側軸承部中。該插塞保持在位可藉助於殼部容納在心軸體部的鑽孔中，其中插塞的頭部與鑽孔的牆體接觸。
    該液態冷卻劑通道部份可用中間套筒部的表面定義。該液態冷卻劑通道部份可用內殼軸承部的表面定義。
    至少一彈性阻尼構件可設於徑向內側軸承部、殼部之間。此一構件可提供或至少協助徑向內側軸承部與殼部的彈性安裝。
    可將該至少一彈性阻尼構件配置成可包圍徑向內側軸承部。該至少一彈性阻尼構件可配置於中間套筒部上。
    配置一對彈性阻尼構件於殼部、徑向內側軸承部之間以及包圍徑向內側軸承部為較佳。該對彈性阻尼構件彼此可軸向隔開。可將該對彈性阻尼構件配置成各自朝向徑向內側軸承部的相對兩端。可將該對彈性阻尼構件配置於中間套筒部上。
    可配置至少一阻尼O形環於殼部、徑向內側軸承部之間。該至少一阻尼O形環可提供或至少有助於殼部與徑向內側軸承部的彈性安裝。
    可將該至少一阻尼O形環配置成可包圍徑向內側軸承部。可將該至少一阻尼O形環配置成它的軸線大體平行於徑向內側軸承部的軸線，與其大體重合為較佳。該至少一阻尼O形環可配置於中間套筒部上。
    有一對阻尼O形環配置於殼部、徑向內側軸承部之間以及包圍徑向內側軸承部為較佳。該對阻尼O形環彼此可軸向隔開。可將該對阻尼O形環配置成各自朝向徑向內側軸承部的相對兩端。該對阻尼O形環可配置於中間套筒部上。
    該內殼軸承部可大體呈環形。該中間部可大體呈環形。
    該內殼部可緊配合於該中間部內，這可為干涉配合。
    該殼部可具有鑽孔，徑向內側軸承部係配置於其中，以及該徑向內側軸承部有面向鑽孔之牆體的外曲面(outer curved surface)以及徑向內側軸承部之外曲面與鑽孔之間的餘隙(clearance)。該徑向內側軸承部的外曲面可為中間部的外曲面。可用該至少一彈性阻尼構件來維持該餘隙。
    該鑽孔可為柱形鑽孔。該徑向內側軸承部的外曲面可為柱形表面。
    設於內殼軸承部、中間套筒部之間的液態冷卻劑通道可具有位在徑向內側軸承部之外曲面的出口。
    設於內殼軸承部、中間套筒部之間的液態冷卻劑通道可具有位在徑向內側軸承部之外曲面的入口。
    該氣體軸承總成可包含至少一輔助O形環，其係配置於設在內殼軸承部、中間套筒部之間的液態冷卻劑通道的入口或出口四周。可能有一對輔助O形環，一個配置於液態冷卻劑通道的入口四周，以及一個配置於液態冷卻劑通道的出口四周。該或每個輔助O形環可配置於中間套筒部上。可將該或每個輔助O形環配置成它的主軸橫亙氣體軸承總成的軸線。該或每個輔助O形環的主軸可沿著氣體軸承總成的半徑擺置。
    同樣，可裝設輔助O形環於在內側軸承部(特別是，中間部)之外曲面之中的鑽孔四周，該鑽孔係經裝設成可容納抗旋轉插塞。
    在抗旋轉插塞有穿孔以及配置成為冷卻劑進給路徑之一部份以進給冷卻劑通道的替代例中，可省去該輔助O形環以及功能換成設在插塞上的O形環，該插塞用內側軸承部(特別是，中間部)密封。可用兩個插塞，一個用於冷卻劑入口，一個用於冷卻劑出口。
    一般而言，可將密封構件裝設成可實現殼部與徑向內側軸承部的密封。可將0形環及/或輔助O形環裝設成可實現殼部與徑向內側軸承部的密封。
    密封構件可設在內殼軸承部、中間套筒部之間。密封O形環可設在內殼軸承部、中間套筒部之間。
    該軸承面通常會包含至少一序列的氣體出口用以供給氣體以在軸承面與配置於軸承總成的軸桿之間產生氣膜。
    每個氣體出口可包含噴口。
    在用於該或每一序列氣體出口的徑向內側軸承部中可各自裝設一對軸向隔開的密封件，例如密封O形環，以及該對中之一個密封件配置在該氣體出口序列的一側上，而該對中之另一個密封件配置在該氣體出口序列的另一側上。
    該軸承總成可包含在軸向彼此隔開的兩列氣體出口，以及液態冷卻劑通道軸向在這兩列氣體出口之間。
    密封件，例如上述O形環，可一起提供密封作用以提供通過軸承總成至該或每列氣體出口的氣體路徑，以及通過軸承總成至液態冷卻劑通道的液體路徑。
    該液態冷卻劑通道可為環形通道，它的軸線可與軸承總成的主軸重合。
    該氣體軸承總成可包含軸向軸承部。該氣體軸承總成可包含第二液態冷卻劑通道，此通道設在軸向軸承部的區域中而且與設於內殼軸承部、中間套筒部之間的液態冷卻劑通道流體相通。該第二液態冷卻劑通道可為環形通道。
    該氣體軸承總成可包含彈性電接觸元件用於電氣連接殼部與徑向內側軸承部。
    應將該接觸元件配置成不會顯著影響該徑向內側軸承部的彈性安裝，同時提供通過軸承總成的電氣路徑供常用於鑽孔及其他機械加工方法的電氣工具觸地技術使用。
    接觸元件的初始候選物會是碳絲刷。不過，已發現，這種刷子不合乎需要，因為磨損及/或維修絲線容易脫落然後可能陷入O形環密封件而造成水洩露。因此，該彈性電接觸元件包含壓縮彈簧為較佳。
    在有些情況下，可用緊縮配合(shrink fit)在一起的兩個部件來形成該內殼軸承。
    該氣體軸承總成可為氣體靜力式氣體軸承總成。
    根據本發明的另一方面，提供一種氣體軸承心軸，其係包含如以上所定義的氣體軸承總成以及軸頸地設置(journalled)於該軸承總成內的一軸桿。 圖式簡單說明
    此時用附圖舉例說明本發明的具體實施例。
    第1圖示意圖示有助於了解本發明的第一鑽孔心軸之一部份；第2圖示意圖示有助於了解本發明的第二鑽孔心軸；第3圖示意圖示第2圖之心軸的軸承總成；第4A及4B圖示意圖示第3圖之軸承總成的中間套筒以及設於該套筒中的O形環凹槽；第5A及5B圖示意圖示第3圖之軸承總成的修改形式，，其係包含數個彈性電接觸元件；第6A及6B圖示意圖示體現本發明的第三鑽孔心軸之一部份；第7A及7B圖示意圖示體現本發明的第四鑽孔心軸之一部份；第8A及8B圖示意圖示體現本發明的第五鑽孔心軸之一部份；以及第9A及9B圖示意圖示體現本發明的另一修改軸承總成之一部份。
    第1圖係示意圖示在許多方面為習知的高速PCB鑽孔心軸之一部份。該PCB鑽孔心軸為空氣軸承心軸以及包含收納於心軸體部2內的兩個徑向空氣軸承總成1。攜載工具固定器4的軸桿3係軸頸地設置於徑向空氣軸承1內。提供由配置於體部2中之定子51與設於軸桿4之繞線(windings)52構成的馬達5用來對於體部2以旋轉方式驅動軸桿4。配置用以固定工具的工具固定器4，在這種情況下，為用於PCB材料之鑽孔的鑽孔工具。提供軸向空氣軸承配置6，其係作用於設在軸桿3遠離工具固定器4之一端的推力滑塊(thrust runner)31。
    以上已一定程度地描述第1圖的習知鑽孔心軸。因此，為求簡潔，本專利說明書省略一般結構及操作的詳細描述。應瞭解，提供空氣軸承心軸的技藝相當成熟，包括適當的空氣軸承及馬達驅動器以及用於固定工具要被馬達驅動的工具固定器。
    本申請案主要著眼於可設於該心軸之軸承1、6之一些方面的結構與功能。
    在第1圖之心軸的每個徑向空氣軸承總成1中，有兩個主要組件。第一個是內部裝上內殼軸承部12的外側軸承殼部11。外側軸承殼部11及內殼軸承部12大體為環形組件。因此，內殼軸承12是裝在外側軸承殼部11的鑽孔內。不過，在內殼軸承部12的外曲面與外側軸承部11之鑽孔的內曲面之間提供顯著的餘隙。
    內殼軸承部12經由一對O形環13安裝至外側軸承殼部11。該等O形環中之一個經裝設成是朝向軸承總成1的一端，以及另一O形環13朝向軸承總成1的另一端。O形環13用來以彈性方式支撐內殼軸承部12於外側軸承殼部11內。
    由於在上述兩個部份11、12之間有餘隙，以及O形環13的回彈性質，內殼軸承部12對於外側軸承殼部11在軸向及徑向有若干運動自由度。
    當然，在有任何此類運動發生時，O形環13可變形。對於設於第1圖之心軸的兩個軸承總成1而言，是適合這種配置的。
    因此，當軸桿3在心軸操作期間傾向振動時，內殼軸承部12可在O形環13上移動，以及O形環13可吸收這種振動能量，因而阻尼軸桿3h振動。接著，這可導致更好的鑽孔效能。如在本專利說明書的【先前技術】所述，有利用這種阻尼作用的現有系統。
    不過，在本發明的心軸中，在軸承總成1內設有環形水冷卻通道7以允許經由適當的溝流(channelling)來供給冷卻劑(特別是在此情形下，為水)至冷卻劑通道7以提供軸承總成1的冷卻，特別是內殼軸承部12的冷卻。
    初始可考慮此一配置會導致軸承總成1從而心軸的整體效能改善。
    不過，已發現，裝設冷卻劑的通道對於軸承總成1的阻尼效能有極為不利的影響。這是因為一旦環形冷卻劑通道7填滿水，它們成為由內殼軸承部12傳送能量至外側軸承殼部11的實體而大幅減少O形環13的阻尼作用。此外，軸承內的水壓越高，則可達成的淨阻尼作用越低。
    因此，儘管第一眼會認為圖示於第1圖的心軸配置有吸引力，然而實際並非如此。
    第2圖至第4圖係有關於本案申請人的現有改良裝置，它可實現冷卻而對於阻尼沒有第1圖之裝置的顯著不利影響。
    第2圖圖示有助於了解本發明的PCB鑽孔心軸。此PCB鑽孔心軸旨在可用於高速鑽孔，例如達約200,000 rpm或300,000 rpm的速度，不過也可用於相對低的速度，例如15,000至20,000 rpm。
    第2圖之心軸的設計及構造大部份為習知而且與上文在說明第1圖時提及的類似。
    因此，該心軸也包含裝在心軸體2內的一對徑向空氣軸承總成1。攜載工具固定器4的軸桿3係軸頸地設置於徑向空氣軸承1內。馬達5也經裝設成對於心軸主體2可以旋轉方式驅動軸桿從而工具固定器4及任何攜帶工具。也提供作用於推力滑塊31的軸向軸承配置6，在這種情況下，推力滑塊31與工具固定器4裝設在軸桿3的同一端。
    如第2圖所示，本發明心軸的徑向空氣軸承總成1與第1圖之心軸的不同。儘管不相同，前軸承總成1與工具固定器4一樣配置於心軸的相同區域，後軸承總成1設在心軸的另一端。
    第3圖更詳細地圖示前軸承總成1。以下用第2圖、第3圖及第4圖更詳細地描述前軸承總成1。
    在第2圖之心軸的前軸承總成1中，也有外側軸承殼部11，其內部裝有內殼軸承部12。不過，在這種情況下，在內殼軸承部12與外側軸承殼部11之間設有中間套筒部14。內殼軸承部12與中間套筒部14可一起被認為構成內側軸承部10。
    再者，在此情形下，外側軸承殼部11大體為環形而且有鑽孔，內側軸承部10係裝設於其內。此外，第2圖之心軸的內殼軸承部12大體為環形而且中間套筒部14也大體為環形。中間套筒部14與內殼軸承部12緊縮配合。
    內側軸承部10彈性安裝於外側軸承殼部11內，其方式與內殼軸承部12安裝於第1圖心軸之外側軸承殼部11內的方式類似。因此，內側軸承部10經由O形環13安裝於外側軸承殼部11中而且在內側軸承部10的弧形外壁與外側軸承殼部11之鑽孔的弧形內壁之間有餘隙。
    在此裝置中，形式為環形凹槽7的冷卻劑通道係設於內側軸承部10中。具體言之，此冷卻劑通道7設在內殼軸承部12、中間套筒部14之間。冷卻劑通道7一方面由內殼軸承部12的表面，另一方面由中間套筒部14的表面定義。因此，以所有意圖及目的而言，冷卻劑通道7與外側軸承殼部11的隔離是用在冷卻劑通道7、外側軸承殼部11之間的中間套筒14。這意謂在使用時提供於冷卻劑通道內的冷卻劑與外側軸承殼部11的鑽孔表面不直接接觸或者可說沒有機械接觸。
    當然，必須使水進出設於內側軸承部10的環形冷卻劑通道7。因此，冷卻劑通道7的入口71與設於外側軸承殼部11的供給口11a套合(in register with)，以及冷卻劑通道7的出口72與外側軸承殼部11的排氣口(exhaust port)11b套合。因此，水可經由入口11a饋入冷卻劑通道，在通道7中繞流，然後經由出口72離開通道7進入排氣口11b。
    應注意，冷卻劑通道7完全環繞內側軸承部10延伸。在本裝置中，通道7的入口71係與出口72直徑地對置，因此，冷卻劑流入入口71然後分開進入兩條路徑以及於在出口72再度會合以離開內側軸承部10之前在軸承總成兩側繞流。
    第二冷卻劑通道73設於在外側軸承殼部11之中的前徑向軸承總成1。提供此第二冷卻劑通道73用以冷卻軸向軸承配置6。軸向軸承配置6的軸向軸承板61緊靠前徑向軸承總成1的外側軸承殼部11，以及在外側軸承殼部11中面向及緊靠軸向軸承板61的表面中形成呈環形凹槽的第二冷卻劑通道73。
    第二冷卻劑通道73經由供給通道74與第一冷卻劑通道7流體相通，供給通道74在外側軸承殼部11內沿著軸向延伸以連接排氣口11b與第二冷卻劑通道73。因此，使用時，水首先流入及通過設於內側軸承部10的第一冷卻劑通道7然後流出內側軸承部10及經由供給通道74進入第二冷卻劑通道73。
    第4A及4B圖示意圖示前徑向軸承總成1的中間套筒14。特別是，其係圖示冷卻劑通道7的入口71及出口72。包圍入口71及出口72的分別為各自容納O形環71b、72b(參考第3圖)的O形環凹槽71a、72a。O形環71b、72b各自在入口、出口71、72四周貼著外側軸承殼部11之鑽孔的壁面用來作為密封件，如第3圖所示。
    如上述，設在內側軸承部10兩端的O形環13提供內側軸承部10對於外側軸承殼部11的彈性安裝以提供必要的阻尼作用。設於入口、出口71、72四周的O形環71b、72b需要提供在入口11a、入口71之間以及在出口72、排氣口11b之間的密封而不破壞此一彈性安裝。這可藉由確保在中間套筒14與外側軸承殼部11之鑽孔在該區域的表面之間有適當的餘隙以及選擇合適的O形環71b、72b來達成。
    在此應注意，儘管中間套筒14為環形以及有大體為柱形的外表面，環體在套筒14軸向長度的厚度不是常數。特別是，套筒14在形成入口71及出口72的中央帶有較大的外徑。因此，套筒14的外曲面呈階狀。如第3圖可見，這導致在軸承總成1的中央區(亦即，入口71及出口72的區域)有較小的套筒14與外側軸承殼部11之鑽孔的餘隙。
    值得注意的是，儘管環繞入口、出口71、72的O形環71b、72b是配置於中間套筒部14的外表面上，其方向使得O形環的軸線實質沿著軸承總成的半徑，主要阻尼O形環13經裝設成可包圍內側軸承部10以及包圍中間套筒部14以及經定向成它們的主軸大體與軸承總成1的軸線重合。
    當然，會記得徑向軸承總成1為空氣軸承總成。因此，有必要密封用於供給進入空氣軸承之空氣的空氣供應路徑以及密封通過軸承總成用於冷卻的適當水通道。
    在此方面，應注意，設於軸承總成1兩端的阻尼O形環13以及設於入口、出口71、72四周的密封O形環71b、72b也提供用於提供適當空氣供給通道給空氣軸承的密封功能。
    由第3圖可見，該軸承總成包含裝設在內殼軸承部12之軸承面12a的兩列噴口8。操作時，噴口8提供進入空氣軸承的空氣以在軸承面12a、軸桿3之間產生必要的氣膜。值得注意的是這兩列噴口8是彼此軸向隔開，而且冷卻劑通道7與冷卻劑通道7的入口、出口71、72是軸向配置在這兩列噴口8之間。
    在內殼軸承部12、中間套筒部14之間，裝設其他密封O形環12b於各列噴口的兩側。每對O形環12b提供向噴口8供給之空氣的密封。再者，密封O形環12b經定向成它們的軸線大體與軸承總成1的主軸重合。
    以上說明係有關於在心軸中也被工具固定器4佔據之區域中的前徑向軸承總成1。不過，在大多數的方面中，以上說明同樣可應用於後徑向軸承總成1。特別是，也有以下類似的配置：內殼軸承部12被中間套筒部14包圍，而中間套筒部14是配置於外側軸承殼部11內。也裝設冷卻劑通道7於中間套筒部14、內殼軸承部12之間。在本裝置中，兩個徑向軸承總成1的主要差異只在於後軸承總成1不包含第二冷卻劑通道73，因為它不緊鄰軸向軸承配置6。
    兩個徑向軸承總成1一起使得水冷卻軸承成為有可能然而在心軸操作時仍可提供振動阻尼作用。
    儘管使用PCB鑽孔應用系統的當前想法來寫作以上說明，然而應注意，這些想法可用於軸承的其他機械加工應用。此類機械加工應用可能或不涉及使用上述類型的高速以及可能或不涉及以上述範圍廣泛的操作速度來操作機器。
    在PCB鑽孔發其他機械加工製程中，機器經常設有工具觸地偵測系統用於偵測鑽頭(或其他工具)首先與工件(例如，一件PCB)接觸的確切點。這些工具觸地系統通常利用電子偵測以及基於在工具與工件接觸時形成的電路來工作。一般而言，為了使偵測系統工作，需要通過機械加工心軸(特別是，軸承總成)的導電路徑。
    在大部份的習知軸承總成中，由心軸與軸承總成的構造而有通過心軸的現成導電路徑。
    不過，在含有第2圖心軸的第3圖軸承總成中，此導電路徑是被在外側軸承殼部11、內側軸承部10之間或更特別的是在外側軸承殼部11、中間套筒部14之間的彈性O形環配件13打斷。
    第5A及5B圖示意圖示第3圖之軸承總成的修改形式，其設計整體上係以恢復通過軸承總成從而鑽孔心軸的導電路徑為目的。
    第5A圖圖示第一修改軸承總成，幾乎在所有方面與第3圖的軸承總成相同。不過，其係圖示與第3圖不同的斷面以及改成設有裝在外側軸承殼部11中以及用軸向無頭螺絲(axial grub screw)502鎖固於定位的碳刷501，軸向無頭螺絲502則用瞬間膠密封於定位。碳刷501包含被銅製固定器抓牢的多個碳刷絲或纖維。碳絲有撓性，因此，不會不利地妨礙外側軸承殼部11與內側軸承部10的彈性安裝。它們更提供良好的電性接觸。
    不過，已發現，在使用及/或維修期間，有一或更多絲線由刷子鬆脫的傾向。一旦絲線鬆脫，它可能陷入總成之O形環密封件中之一個，特別是在拆解總成以便維修等等的時候。陷入的絲線容易造成水洩露，因為它會妨礙受影響O形環所提供的密封。
    第5B圖圖示第3圖之軸承總成目前為較佳的修改版本。在此，也提供彈性電接觸元件以使外側軸承殼部11與內側軸承部10電性連接。不過，在此情形下，在外側軸承殼部11中設有螺旋壓縮彈簧503。彈簧503裝在外側軸承殼部11的徑向孔中以及用鎖定無頭螺絲(locking grub screw)504加載而頂著內側軸承部10，特別是頂著中間套筒部14。然後，用瞬間膠密封此無頭螺絲於定位。因此，螺旋壓縮彈簧53可恢復通過軸承總成的電氣連接，而不會有與內含於如第5A圖所示之第一修改版本軸承總成之碳纖維刷有關的問題。在一替代例中，配置可反過來，以及彈簧裝在內側軸承部上。另外，如果認為有必要，可裝設一個以上的接觸元件。
    吾等斷定以上設計有以下可能有用的方面。
    如果內側軸承部10與外側軸承殼部11經配置成內側軸承部10在不正常負載下對於外側軸承殼部可旋轉，則可減少心軸失效(例如，撞擊或卡死)時的風險及/或損害程度。總成的O形環在正常使用時會抵制內側軸承部10與外側軸承殼部11的相對旋轉。不過，在極端負載下，可讓它有點旋轉而有助於減少損害。
    由於軸承總成的結構，在內側軸承部10(內殼12及/或中間套筒14)損壞時可更換，如果軸承的其餘部份未損壞的話。這顯著比換掉整個軸承總成還便宜。
    儘管內側軸承部10對於外側軸承殼部11能夠旋轉被看作是上述鑽孔心軸的潛在優點，實際上已證明這種相對旋轉在有些情況下有問題。特別是，如果發生這種相對旋轉，則可能打斷用於饋送冷卻劑進入內側軸承部之冷卻劑進給路徑的完整性使得冷卻劑逃逸進入軸承。此外，如果供給至空氣軸承的空氣相對旋轉發生時被切斷使得空氣進給路徑沒有壓力，水則可能進入空氣進給路徑及軸承的其他部件而可能造成軸承及/或心軸的災難性故障。因此，本案申請人進一步力求開發一種改良鑽孔心軸，其目的在於減少或去除這個問題同時不犧牲軸承的效能，特別是它們的彈性阻尼特性。
    第6A及6B圖示意圖示與第2圖所示類似的第三PCB鑽孔心軸之一部份。在省略第6A及6B圖之心軸的描述時，應考量該等方面至少與上述心軸及軸承相同，除了上下文有不允許的地方以外。這也適用於第7A圖、第7B圖、第8A圖及第8B圖的心軸。
    第6A圖為沿著PCB鑽孔心軸之軸線通過前部的的橫截面圖，以及第6B圖為橫越軸線通過心軸的橫截面圖。
    如上述，第6A及6B圖之第三鑽孔心軸的結構及操作與圖示於第2圖及以上在說明第2圖至第5A、5B圖時提及的類似。不過，在此一鑽孔心軸中使用形式有點不同但是很重要的徑向空氣軸承總成1。
    第6A及6B圖圖示心軸的徑向空氣軸承總成1中之一個，但是在第2圖之心軸的情形下，實際會有兩個徑向空氣軸承總成。說本例的相關特徵而言，設於第三PCB鑽孔心軸的兩個徑向空氣軸承總成1係彼此相同。
    該PCB鑽孔心軸也包含每個徑向空氣軸承總成1裝設於其中的心軸體部2，接著是軸頸地設置軸桿3於徑向空氣軸承總成1內。
    每個徑向空氣軸承總成1也包含外側軸承部11，其內係安裝有阻尼O形環13設於其間的內側軸承部10。內側軸承部10也包含內殼軸承部12與中間套筒部14。進一步定義冷卻通道7於內殼軸承部12、中間套筒部14之間。提供進入冷卻劑通道7的入口71以及離開冷卻劑通道7的出口72。如同上述心軸，入口71及出口72都設在中間套筒部14的外曲面而且出口及入口分別被各自座落在O形環凹槽71a、72a的O形環71b、72b包圍。因此，這個徑向空氣軸承總成在所有方面與在說明第2圖、第3圖、第4A圖及第4B圖時提及的相同。
    不過，本具體實施例裝設抗旋轉插塞或插銷601以抵制外側軸承部11與內側軸承部10的相對旋轉。第6B圖圖示在原位的插塞601而在第6A圖與心軸分開。
    由第6B圖顯而易見，插塞601容納在外側軸承部11的適當鑽孔中以及突入內側軸承部10。特別是，插塞601的末端容納在內側軸承部10的鑽孔中，而至少在本具體實施例中，內側軸承部10是在中間套筒部14中。
    插塞601係與外側軸承部11及內側軸承部10推入配合。在設置於中間套筒部14內的末端處，提供環繞插塞601的O形環602。因此，插塞601與內側軸承部10的接觸只經由O形環602的彈性材料。另一方面，插塞601與外側軸承部11有直接的金屬對金屬的接觸。
    O形環602提供插塞601與內側軸承部10之間的彈性，這可確保由插塞提供的外側軸承部11與內側軸承部之耦合有彈性。這意謂，儘管插塞601實際上可用來阻止內側軸承部10與外側軸承部11的相對旋轉，但是不會破壞內側軸承部10與外側軸承部11的彈性安裝。此外，插塞601上的O形環602也用作密封件以確保冷卻劑通道7中的冷卻劑無法通過插塞601逸出。
    儘管插塞601與外側軸承部11及內側軸承部10推入配合，然而它能保持在位係藉助於徑向空氣軸承總成1收容於心軸體部2的鑽孔。當然，在其他替代例中，插塞1可用其他方法保持。
    用第6A及6B圖的設計，在設有插塞601的位置兩側軸向裝設包圍中間套筒部14之外曲面的附加O形環13a(如同阻尼O形環13)。附加O形環13a經裝設成可密封至內側軸承部10之噴口8的空氣路徑。
    提供包圍中間套筒部14之曲面的附加O形環13a(使得每個O形環的軸線與軸承共軸)可能有使得軸承更硬的缺點。這可能使裝入O形環之內側軸承部10對於外側軸承部11的合意阻尼作用瓦解。如果軸承變得太硬，則可能無法吸收想要程度的振動。因此，儘管第6A及6B圖的心軸有助於防止不合意內側軸承部10與外側軸承部11的相對旋轉，然後軸承的整體阻尼效能可能不是最優。
    第7A及7B圖圖示與第6A及6B圖所示類似但是被修改成有助於改善阻尼特性的第四PCB鑽孔心軸。
    在第7A及7B圖的鑽孔心軸中，插塞601帶有兩個O形環602、602a。該等O形環602中之第一個也被裝設成朝向插塞601的末端以及貼著中間套筒部14密封。也裝設環繞插塞601的另一O形環602a。不過，此O形環602a比較靠近插塞601的頭部。此外，第二O形環602a與外側軸承部11接觸及密封。這意謂，至噴口8的空氣路徑是密封的而不會被插塞601的裝設危害。這藉由研究第7A圖可明白。
    因此，在第7A及7B圖的鑽孔心軸中，可省略如包含於第6A圖之心軸的第二對O形環13a。因此，可避免軸承的阻尼特性由第6A圖之心軸包含O形環13a引起的不利影響。
    應注意，第7A圖圖示在心軸之原位的插塞601。此外，應注意，繪製於第7A圖的斷面與第6A圖的斷面不同。第7A圖的斷面係沿著一條直線繪出藉此可看到在原位的插塞，而第6A圖的斷面沿著一條直線繪出藉此可看到冷卻通道7的入口、出口71、72。因此，該等斷面與對方呈90度。
    應注意，儘管設在插塞601上的第二O形環602a意謂在插塞601、外側軸承部11之間有密封，然而這不一定意謂在這兩個部件之間有彈性耦合。插塞601的頭部與柄部中不攜載O形環602a的其餘部份仍可與外側軸承部11緊密接觸。也就是說，可用與內側軸承部10接觸的O形環602來提供外側軸承部11與內側軸承部10之抗旋轉耦合的所欲彈性，以及第二O形環602a對此有微小或沒有影響。
    在圖示於第6A圖、第6B圖、第7A圖及第7B圖的具體實施例中，插塞601沿著軸承總成1軸向居中地以及沿著軸承的軸承面軸向居中地裝設。此外，插塞601與冷卻劑通道7對齊。插塞601的裝設也與冷卻劑通道7的入口及出口分開而且與它們隔開。在該等具體實施例中，插塞601各與入口、出口71、72隔開90度。
    第8A及8B圖圖示第五鑽孔心軸，其係具有如第6A圖、第6B圖、第7A圖及第7B圖所示的替代配置。
    裝設也做成有助於防止內側軸承部10與外側軸承部11的相對旋轉。不過，在此情形下，為了此一目的而裝設兩個插塞801以及使它們的功能與提供冷卻劑通道7之入口及出口的功能整合。因此，由第8B圖顯而易見，在第8A及8B圖的心軸中，上述心軸(特別是包圍O形環71b、72b者)的入口71及出口72被插塞801取代。每個插塞801有穿孔或鑽孔803。這些鑽孔係軸向穿過插塞801。在有些情形下，外端(亦即，遠離冷卻劑通道7者)可打孔。每個穿孔或鑽孔803與外側軸承部11的適當進給路徑用以使冷卻劑進出冷卻劑通道7。
    每個插塞801攜載一對O形環802、802a。也將O形環802中之第一個裝設成朝向插塞801的末端以及兩者形成密封而且提供內側軸承部10與插塞801的彈性耦合。第二O形環802a提供插塞801與外側軸承部11的密封。
    因此，兩個O形環802、802a一起提供密封以防止插塞801破壞至噴口8之空氣供應路徑的完整性，以及第一O形環802也提供密封以確保內側軸承部10之冷卻劑通道7的完整性。再者，插塞801對於外、內側軸承部11、10的相對旋轉可一起提供阻力，然而插塞801與中間套筒部14之耦合的彈性可協助確保心軸的整體阻尼特性不會被破壞。
    應注意，圖示於第8A及8B圖的配置可能導致有比第7A及7B圖之配置還硬的心軸。因此，目前以第7A及7B圖的配置為較佳，因為儘管使用較多組件，然而在大部份的情況下，使用第7A及7B圖的配置比較容易提供有更好阻尼特性的心軸。
    已說過，在有些情形下，第8A及8B圖的配置可能較佳，例如在可容忍或減緩本質較硬的配置時。
    如第6A圖至第8B圖所示的第三、第四及第五鑽孔心軸各為包含有徑向抗旋轉插塞或插銷之軸承總成的心軸實施例。亦即，抗旋轉插塞由內側軸承部10徑向伸入外側軸承部11。
    第9A及9B圖圖示修改軸承總成，其係經配置成可用軸向抗旋轉插塞或插銷901來抵制內側軸承部10與外側軸承部11的相對旋轉。第9A圖的等視軸剖面圖沿著穿過軸承總成而不通過插塞901的一直徑繪出，以及第9B圖為沿著通過插塞901之另一直徑繪出的簡單斷面圖。
    第9A及9B圖的修改軸承總成與圖示於第3圖的類似。唯一明顯的差異是裝設作為外側軸承部11之一部份的端蓋(end cover)904，6個軸向抗旋轉插塞901(第9A圖只能看到3個，第9B圖可看到4個)以及6個對應O形環902(第9B圖只能看到2個，第9A圖省略)。
    應瞭解，這兩個修改軸承總成可用於圖示於第2圖的心軸。為求簡潔，省略第9A及9B圖之軸承總成中與第3圖軸承總成一樣之方面的詳細說明，以及用相同的元件符號表示。
    端蓋904係(經由螺絲905)安裝至外側軸承部11的其餘部份。其係沿著外側軸承部11的主要鑽孔徑向向內延伸以便至少部份突出越過內側軸承部10(特別是中間部14及內殼軸承部12)的末端。
    端蓋904的內周邊904a定義複數個(在此情形下，為6個)狹縫904b。該等狹縫各自接收一個抗旋轉插塞901。儘管每個插塞901的一端各自設置於狹縫904b內，然而在此具體實施例中，另一端是各自設置於內側軸承部10(特別是，內殼軸承部12)的鑽孔906內。
    在本具體實施例中，O形環902由各個插塞901攜載以及各自在插塞901、狹縫904b之間。不過，已發現，在至少一些情況下，可省略該等O形環902而不會破壞軸承總成的彈性效能。這可能是因為該配置使得在沒有O形環902的情形下，插塞101與端蓋904只能發生點接觸，這使得總成內有充分的彈性可供在一定條件下成功地操作。
    應注意，與緊配合穿孔/鑽孔的方式相反，在端蓋904中加上狹縫904b有助於機械加工、組裝及彈性效能(尤其是在省略O形環902時)。更一般地，在有或沒有O形環下，插塞901可裝在內、外側軸承部10、11中之一者中以及設置於另一個的狹縫內。
    1‧‧‧徑向空氣軸承總成
    2‧‧‧心軸體
    3‧‧‧軸桿
    4‧‧‧工具固定器
    5‧‧‧馬達
    6‧‧‧軸向空氣軸承配置
    7‧‧‧環形水冷卻通道
    8‧‧‧噴口
    10‧‧‧內側軸承部
    11‧‧‧外側軸承部
    11a‧‧‧供給口
    11b‧‧‧排氣口
    12‧‧‧內殼軸承部
    12a‧‧‧軸承面
    12b‧‧‧密封O形環
    13,71b,72b,602,602a,802,802a,902‧‧‧O形環
    13a‧‧‧附加O形環
    14‧‧‧中間套筒部
    31‧‧‧推力滑塊
    51‧‧‧定子
    52‧‧‧繞線
    53‧‧‧螺旋壓縮彈簧
    61‧‧‧軸向軸承板
    71‧‧‧入口
    71a、72a‧‧‧O形環凹槽
    72‧‧‧出口
    73‧‧‧第二冷卻劑通道
    74‧‧‧供給通道
    101,801‧‧‧插塞
    501‧‧‧碳刷
    502‧‧‧軸向無頭螺絲
    503‧‧‧螺旋壓縮彈簧
    504‧‧‧鎖定無頭螺絲
    601‧‧‧抗旋轉插塞或插銷
    803‧‧‧穿孔或鑽孔
    901‧‧‧軸向抗旋轉插塞或插銷
    904‧‧‧端蓋
    904a‧‧‧內周邊
    904b‧‧‧狹縫
    905‧‧‧螺絲
    906‧‧‧鑽孔
    第1圖示意圖示有助於了解本發明的第一鑽孔心軸之一部份；第2圖示意圖示有助於了解本發明的第二鑽孔心軸；第3圖示意圖示第2圖之心軸的軸承總成；第4A及4B圖示意圖示第3圖之軸承總成的中間套筒以及設於該套筒中的O形環凹槽；第5A及5B圖示意圖示第3圖之軸承總成的修改形式，，其係包含數個彈性電接觸元件；第6A及6B圖示意圖示體現本發明的第三鑽孔心軸之一部份；第7A及7B圖示意圖示體現本發明的第四鑽孔心軸之一部份；第8A及8B圖示意圖示體現本發明的第五鑽孔心軸之一部份；以及第9A及9B圖示意圖示體現本發明的另一修改軸承總成之一部份。
    12‧‧‧內殼軸承部
    14‧‧‧中間套筒部
    901‧‧‧軸向抗旋轉插塞或插銷
    902‧‧‧O環
    904‧‧‧端蓋
    904b‧‧‧狹縫
    906‧‧‧鑽孔
    权利要求:
    Claims (15)
    [1] 一種用於氣體軸承心軸的氣體軸承總成，該總成包含一殼部以及配置於其中且彈性安裝於該殼部的一徑向內側軸承部，該徑向內側軸承部包含有一軸承面的一內殼軸承部以及配置於該內殼軸承部與該殼部之間的一中間套筒部，其中裝設一液態冷卻劑通道於該內殼軸承部與該中間套筒部之間，該總成更包含一抗旋轉插塞，其係容納在該殼部及該內側軸承部兩者中以耦合該殼部與該內側軸承部而反抗相對旋轉。
    [2] 如申請專利範圍第1項之氣體軸承總成，其中有一彈性構件設在該插塞與該殼部及該內側軸承部中之至少一者之間，使得該殼部與該內側軸承部藉由該插塞所形成的耦合有彈性。
    [3] 如申請專利範圍第2項之氣體軸承總成，其中設在該插塞與該殼部及該內側軸承部中之至少一者之間的該彈性構件包含附在該插塞上的一O形環。
    [4] 如申請專利範圍第3項之氣體軸承總成，其中該O形環係用作密封件。
    [5] 如申請專利範圍第1-4項中任一項的氣體軸承總成，其中該插塞具有作為該軸承總成中之一流體進給路徑之一部份的一穿孔。
    [6] 如申請專利範圍第1-5項中任一項的氣體軸承總成，其中一對彈性構件一方面設在該插塞與該殼部之間，且另一方面設在該插塞與該內側軸承部之間，該等彈性構件中之一個設在該插塞與該殼部之間，且另一個設在該插塞與該內側軸承部之間。
    [7] 如申請專利範圍第1-6項中任一項的氣體軸承總成，其係包含一對直徑地對置的抗旋轉插塞。
    [8] 如申請專利範圍第1-7項中任一項的氣體軸承總成，其中該或每個插塞對於該軸承面係軸向居中地裝設。
    [9] 如申請專利範圍第1-8項中任一項的氣體軸承總成，其中該或每個插塞係與該冷卻劑通道軸向對齊。
    [10] 如申請專利範圍第1-9項中任一項的氣體軸承總成，其中該或每個插塞係推入配合於該殼部及/或該內側軸承部中。
    [11] 如申請專利範圍第10項之氣體軸承總成，其中該插塞係藉助於該殼部被容納在一心軸體部的一鑽孔中而保持於定位，且該插塞的頭部與該鑽孔的牆體接觸。
    [12] 如申請專利範圍第1-11項中任一項的氣體軸承總成，其中有一對抗旋轉插塞，其中一個用作該冷卻劑通道的入口，且另一個用作該冷卻劑通道的出口。
    [13] 如申請專利範圍第1-12項中任一項的氣體軸承總成，其中該或每個插塞係由該殼部徑向延伸進入該內側軸承部。
    [14] 如申請專利範圍第1-12項中任一項的氣體軸承總成，其中該或每個插塞係由該殼部軸向延伸進入該內側軸承部。
    [15] 一種氣體軸承心軸，其係包含如申請專利範圍第1-14項中任一項的氣體軸承總成，以及軸頸式地設置於該軸承總成內的一軸桿。
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    KR101876482B1|2018-07-10|
    JP6212729B2|2017-10-18|
    GB201208599D0|2012-06-27|
    GB201120593D0|2012-01-11|
    KR20140100548A|2014-08-14|
    EP2786030B1|2017-11-15|
    WO2013079896A1|2013-06-06|
    EP2786030A1|2014-10-08|
    JP2015501910A|2015-01-19|
    TWI421417B|2014-01-01|
    CN103133543B|2016-06-08|
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    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    US4474483A|1982-03-29|1984-10-02|Toyoda Koki Kabushiki Kaisha|Hydrostatic bearing apparatus with a cooling function|
    US4521121A|1983-08-08|1985-06-04|Textron Inc.|Air bearing|
    JPH0639145Y2|1988-02-05|1994-10-12|三菱重工業株式会社|気体軸受|
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    GB2466998B|2009-01-19|2011-05-18|Gsi Group Ltd|Gas bearing spindles and gas bearing assemblies for gas bearing spindles|
    DK2714010T3|2011-05-25|2017-06-12|Novaliq Gmbh|TOPICAL PHARMACEUTICAL COMPOSITION BASED ON SEMIFLUORED ALKANES|
    GB201120593D0|2011-11-29|2012-01-11|Gsi Group Ltd|Gas bearing spindles and gas bearing assemblies for gas bearing spindles|JP2724001B2|1989-01-17|1998-03-09|三井化学株式会社|イソプロパノールの製造方法|
    GB201120593D0|2011-11-29|2012-01-11|Gsi Group Ltd|Gas bearing spindles and gas bearing assemblies for gas bearing spindles|
    GB2526340B|2014-05-21|2020-05-20|Novanta Tech Uk Limited|Gas bearing spindles|
    US8973848B2|2014-09-08|2015-03-10|Efc Systems, Inc.|Composite air bearing assembly|
    JP6276810B2|2016-08-04|2018-02-07|Ntn株式会社|エアタービン駆動スピンドル|
    EP3324062A1|2016-11-22|2018-05-23|Fischer Engineering Solutions AG|Rotationssystem mit radialer gaslagerung|
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    申请号 | 申请日 | 专利标题
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